報告時間：2025年4月14日（星期一）9:00
報告地點：學術會議中心二樓報告廳
報 告 人：張海林 高級工程師
工作單位：深圳市匯川技術股份有限公司
舉辦單位：電氣與自動化工程學院
報告簡介：
精密運動臺作為光刻機、檢測與量測設備等半導體前道制程關鍵裝備的核心子系統，其運動性能直接決定了晶圓加工良率、加工精度和產品率等。報告聚焦精密運動臺中的高精度功率放大器，分析了半導體精密運動臺對其的要求以及性能相互影響機理，對高精度應用中的電路拓撲、非線性抑制等相關技術的發展進行了介紹，并展望了未來高精度功率放大器的技術發展趨勢。
報告人簡介：
張海林，深圳市匯川技術股份有限公司研發專家，高級工程師，深圳市高層次人才。主要從事半導體精密伺服、磁懸浮技術、高速電機驅動等領域的技術研究及產業化工作。先后主持國家重點研發計劃課題，國家自然科學基金等項目，參與國家科技重大專項02專項，累計發表國內外學術論文50余篇，獲中國發明專利授權10余項。
